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上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司
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一、概述
此套系統(tǒng)H-CVD-1200S前端配有可加熱到0-1000℃的蒸發(fā)器，輔助固體源蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū)硫化爐，溫度控制精確，操作簡便。左端配有法蘭支撐架可將預(yù)熱器和硫化爐分開使用。右端可配氣氛微調(diào)裝置，可以準(zhǔn)確的反應(yīng)腔體內(nèi)部的氣體壓力，帶刻度的調(diào)節(jié)閥對(duì)于做低壓CVD非常實(shí)用，重復(fù)性好；真空機(jī)組裝有真空粉塵過濾器以保護(hù)機(jī)械式真空泵不被硫粉塵損壞。整套系統(tǒng)可在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、設(shè)備組成
HTF-1100蒸發(fā)器，HTF-1200D雙溫區(qū)管式爐(蒸發(fā)器與高溫反應(yīng)區(qū)采用一體式)。
三、主要技術(shù)參數(shù)
蒸發(fā)器
| 型號(hào)：HTF-1100 工作溫度：室溫-1000℃ **溫度：1050℃ *快升溫速率：30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220 V 額定功率：1000W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲 加熱區(qū)長度（mm）：150mm |
雙溫區(qū)硫化爐 | 型號(hào)：HTF-1200D 技術(shù)參數(shù)： 額定功率(KW):3 額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz **溫度(℃):1200（1 hour） 持續(xù)工作溫度(℃）：1100 升溫速率（℃/min）：≤50 爐管尺寸（mm）： 高純石英管Φ50×1500mm 加熱區(qū)長度（mm）：150/300mm 恒溫區(qū)長度（mm）:100/120mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 控溫精度(℃):±1 加熱元件:電阻絲 |
配件 | 配真空粉塵過濾器，DN25手動(dòng)蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力，防腐型數(shù)顯真空計(jì)，三路混氣系統(tǒng)（可選） |
硫化物CVD系統(tǒng)(一體式）的工作原理介紹？硫化物CVD系統(tǒng)(一體式）的使用方法？硫化物CVD系統(tǒng)(一體式）多少錢一臺(tái)？硫化物CVD系統(tǒng)(一體式）使用的注意事項(xiàng)硫化物CVD系統(tǒng)(一體式）的說明書有嗎？硫化物CVD系統(tǒng)(一體式）的操作規(guī)程有嗎？硫化物CVD系統(tǒng)(一體式）的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？硫化物CVD系統(tǒng)(一體式）有現(xiàn)貨嗎？硫化物CVD系統(tǒng)(一體式）包安裝嗎？相關(guān)產(chǎn)品
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企業(yè)名稱
上海翰軍實(shí)驗(yàn)設(shè)備有限公司企業(yè)類型
有限責(zé)任公司(自然人投資或控股)信用代碼
91310114088623834X法人代表
肖偉注冊(cè)地址
上海市嘉定區(qū)前曹公路557號(hào)10幢一層A區(qū)成立日期
2014-03-25注冊(cè)資本
500萬人民幣有效期限
2014-03-25 至 2044-03-24
經(jīng)營范圍
一般項(xiàng)目：實(shí)驗(yàn)分析儀器銷售，光通信設(shè)備銷售，儀器儀表銷售，普通機(jī)械設(shè)備安裝服務(wù)，電子、機(jī)械設(shè)備維護(hù)（不含特種設(shè)備），儀器儀表修理，技術(shù)服務(wù)、技術(shù)咨詢、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣，從事電爐、高真空設(shè)備和工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置的生產(chǎn)。（除依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動(dòng)）許可項(xiàng)目：貨物進(jìn)出口，技術(shù)進(jìn)出口。（依法須經(jīng)批準(zhǔn)的項(xiàng)目，經(jīng)相關(guān)部門批準(zhǔn)后方可開展經(jīng)營活動(dòng)，具體經(jīng)營項(xiàng)目以相關(guān)部門批準(zhǔn)文件或許可證件為準(zhǔn)）
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