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上海翰軍實驗設(shè)備有限公司
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一、概述
硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測控溫以保證在250℃以下，穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時機和蒸發(fā)溫度。真空機組裝有真空粉塵過濾器以保護機械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復(fù)合真空計（在1000Pa以上測量不受氣體種類影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過調(diào)節(jié)真空蝶閥的開啟程度調(diào)節(jié)爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定，在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、設(shè)備組成
HCVD-1200S雙溫區(qū)管式爐，HTF400C硫粉預(yù)熱器(雙溫區(qū)管式爐與預(yù)熱器可滑動)，質(zhì)量流量計供氣系統(tǒng)，機械式真空泵等組成。
三、主要技術(shù)參數(shù)
硫粉預(yù)熱器
| 型號：HTF-400C 工作溫度：350℃ **溫度：400℃ *快升溫速率：30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220 V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲
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雙溫區(qū)硫化爐 | 型號：HCVD-1200S 技術(shù)參數(shù)： 額定功率(KW):3 額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz **溫度(℃):1200（1 hour） 持續(xù)工作溫度(℃）：1100 升溫速率（℃/min）：≤50 爐管尺寸（mm）： 高純石英管Φ50×1500mm 加熱區(qū)長度（mm）：440mm 恒溫區(qū)長度（mm）:200mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能 控溫精度(℃):±1 加熱元件:電阻絲 |
供氣系統(tǒng)GMF3Z
| 質(zhì)量流量計 重量：35Kg 外形尺寸：600x600x650mm 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 標準量程（N2標定)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根據(jù)用戶要求定制） 準確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa **壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 |
低真空機組VAU-02
| 技術(shù)參數(shù)： 空氣相對濕度≤85%， 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽氣速率：4L\s 極限真空：4X10-2Pa 實驗真空度：1.0X10-1Pa 容油量：1.1L 進氣口口徑：KF25 排氣口口徑：KF25 轉(zhuǎn)速：1450rpm 噪音：50dB 外型尺寸:450×180×240mm |
配真空粉塵過濾器，DN25手動蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力，INFICON PCG554復(fù)合真空計 |
二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)的工作原理介紹？二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)的使用方法？二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)多少錢一臺？二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)使用的注意事項二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)的說明書有嗎？二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎？二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)的報價含票含運費嗎？二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)有現(xiàn)貨嗎？二硫化鉬CVD氣相沉積系統(tǒng)包安裝嗎？相關(guān)產(chǎn)品
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企業(yè)名稱
上海翰軍實驗設(shè)備有限公司企業(yè)類型
有限責任公司(自然人投資或控股)信用代碼
91310114088623834X法人代表
肖偉注冊地址
上海市嘉定區(qū)前曹公路557號10幢一層A區(qū)成立日期
2014-03-25注冊資本
500萬人民幣有效期限
2014-03-25 至 2044-03-24
經(jīng)營范圍
一般項目：實驗分析儀器銷售，光通信設(shè)備銷售，儀器儀表銷售，普通機械設(shè)備安裝服務(wù)，電子、機械設(shè)備維護（不含特種設(shè)備），儀器儀表修理，技術(shù)服務(wù)、技術(shù)咨詢、技術(shù)開發(fā)、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣，從事電爐、高真空設(shè)備和工業(yè)自動控制系統(tǒng)裝置的生產(chǎn)。（除依法須經(jīng)批準的項目外，憑營業(yè)執(zhí)照依法自主開展經(jīng)營活動）許可項目：貨物進出口，技術(shù)進出口。（依法須經(jīng)批準的項目，經(jīng)相關(guān)部門批準后方可開展經(jīng)營活動，具體經(jīng)營項目以相關(guān)部門批準文件或許可證件為準）
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