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**一代的TESCAN MIRA場發(fā)射掃描電鏡給用戶帶來了**的技術(shù)優(yōu)點（如改進的高性能電子設(shè)備使成像過程更快，快速掃描系統(tǒng)包括了動態(tài)與靜態(tài)圖像扭曲補償，有內(nèi)置的編程軟件等），同時保持著**的性價比。

MIRA3的設(shè)計適用于各種各樣的SEM應用及當今研究和產(chǎn)業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于分析應用，例如：EBSD、WDX等分析。

MIRA3 場發(fā)射掃描電鏡可配置LM、XM或GM三種樣品室。所有的MIRA樣品室（LM、XM或GM）提供優(yōu)秀的5軸馬達驅(qū)動全計算機化優(yōu)中心樣品臺，完善的幾何 設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDS），波譜儀（WDX），電子背散射衍射（EBSD）。XM和GM樣品室適用于大樣品的分析。

現(xiàn)代電子光路

• 高亮度肖特基電子槍可獲得高分辨率/高電流/低噪音圖像

• 獨特的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics?）設(shè)計提供了多種工作與顯示模式

• 獨特的中間鏡的作用就如同軟件“光闌轉(zhuǎn)換器”，它以電磁方式有效地改變物鏡光闌

• 結(jié)合了完善的電子光學設(shè)計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing?），可模擬和優(yōu)化電子束

• 可選的In-Beam探頭可獲得特高分辨率圖像

• 電鏡的全自動設(shè)置

• 成像速度快

• 使用3維電子束技術(shù)，實時得到立體圖像，三維導航

維修簡單

現(xiàn)在保持電鏡處在優(yōu)秀的狀態(tài)很簡單，只需要很短的停機時間。每個細節(jié)設(shè)計得很仔細，使得儀器的效率**化，操作*簡化。

自動操作

設(shè)備的特點包括了自動設(shè)置和眾多自動操作。除此之外，電鏡還有樣品臺自動導航與自動分析 程序，能明顯減少操作員的操作時間。通過內(nèi)置腳本語言 （Python）可進入軟件的大多數(shù)功能，包括顯微鏡的控制、樣品臺的控制、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶還可以編程其自己的自動操作程序。

用戶界面友好的軟件與軟件工具

• 多語言操作界面

• 多用戶界面（包括了EasySEMTM模式）不同賬戶的權(quán)利使常規(guī)分析過程更快

• 圖片管理，報告生成

• 內(nèi)置的系統(tǒng)檢查與系統(tǒng)診斷

• 網(wǎng)絡(luò)操作與遠程進入/診斷

• 模塊化軟件體系結(jié)構(gòu)

• 標準軟件包括了測量、圖像處理、對象區(qū)域，等模塊

• 可選的軟件和包括顆粒度分析標準版/專家版、3維表面重建，等模塊

  
  

MIRA3 GM

MIRA3 GM是一款完全由計算機控制的場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光學性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟、用戶界面友好的操作 軟件等特點?；赪indows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了 電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

MIRA3 XM

MIRA3 XM是一款完全由計算機控制的場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光學性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟、用戶界面友好的操作 軟件等特點?；赪indows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了 電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

MIRA3 LM

MIRA3 LM是一款完全由計算機控制的場發(fā)射掃描電子顯微鏡，可在高真空和低真空模式下操作，其具有突出的光學性能，清晰的數(shù)字化圖像，成熟、用戶界面友好的操作 軟件等特點。基于Windows?平臺的操作軟件提供了簡易的電鏡操作和圖像采集，可以保存標準文件格式的圖片，可以對圖像進行管理、處理和測量，實現(xiàn)了 電鏡的自動設(shè)置和許多其它自動操作。

MIRA3 AMU

特大樣品室定制版