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多弧離子鍍膜機(jī)由鍍膜室、N個(gè)電弧靶、弧電源,真空獲得系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)工件架、管狀加熱器、氣路系統(tǒng)、水路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成。
多弧離子鍍膜設(shè)備應(yīng)用
多弧離子鍍膜設(shè)備參數(shù)
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多弧離子鍍膜機(jī)由鍍膜室、N個(gè)電弧靶、弧電源,真空獲得系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)工件架、管狀加熱器、氣路系統(tǒng)、水路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等組成。