參考價格
100-150萬元型號
VCVD品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
暫無非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結(jié)氣氛:
真空溫控精度:
±5最高溫度:
1500額定溫度:
1500看了立式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
立式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)
產(chǎn)品描述:
立式化學(xué)氣相沉積爐(SiC、BN)可用于材料的表面涂層、基體改性、復(fù)合材料制備等
應(yīng)用范圍:
外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導(dǎo)體坩堝、陶瓷基復(fù)合材料等
采用先進的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍??;
全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強;
多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
多級高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;
可選配新設(shè)計的防腐蝕真空機組,持續(xù)工作時間長,維修率極低;
使用工藝氣氛:真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
參數(shù)\型號 | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608-SIC | VCVD-0812-SIC | VCVD-1120-SIC | VCVD-1520-SIC |
工作區(qū)尺寸D×H(mm) | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1500×2000 |
**溫度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
溫度均勻性(℃) | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
極限真空度(Pa) | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
壓升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式:手動/自動
爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì):碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC/金屬
熱電偶:K/N/C/S分度號
真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組
暫無數(shù)據(jù)!
近日,頂立科技分析測試中心順利獲得中國合格評定國家認可委員會(CNAS)頒發(fā)的實驗室認可證書,正式成為CNAS認可的檢測實驗室。這一認證標(biāo)志著頂立科技分析測試中心在管理體系、硬件設(shè)施和試驗?zāi)芰ι暇_到
示范工程標(biāo)定是指對示范工程項目進行校準(zhǔn)、確定關(guān)鍵指標(biāo)或標(biāo)準(zhǔn)的過程。通過確定性能指標(biāo)、驗證設(shè)計方案、建立標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范,為后續(xù)建設(shè)和推廣提供可參考的標(biāo)準(zhǔn)。2024年12月24日,受湖南頂立科技股份有限公司委托
2024年12月7日,由長沙理工大學(xué)研究生院、長沙市復(fù)合材料學(xué)會主辦,湖南頂立科技股份有限公司與長沙理工大學(xué)材料工程學(xué)院聯(lián)合承辦的“長沙理工大學(xué)第二十屆研究生博力學(xué)術(shù)論壇暨長沙市復(fù)合材料學(xué)會第五屆復(fù)合
所謂復(fù)合材料是指由兩種或兩種以上的組分材料,運用一定的工藝技術(shù)制備組合而成的多相新材料體系,其綜合性能優(yōu)于各自組分材料。先進復(fù)合材料指用高性能增強體如碳纖維、芳綸等高性能耐熱高聚物構(gòu)成的復(fù)合材料,包括