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EM系列單級旋片泵
技術特征：
◆ 極限真空度: ≤2mbar（266Pa）
◆ 抽速：4-51m3/h
◆ EM系列單級旋片泵配置有油路循環(huán)裝置。
◆ 電機和轉子為軸直聯(lián)形式。
◆ 油箱配置有油氣分離器。
◆ 泵內集成有氣鎮(zhèn)閥，減少水汽的凝結。
可選配置：
◆ 外接式抽氣過濾器
◆ 真空計
技術指標：
暫無數(shù)據(jù)！
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4月28日，由石墨邦主辦的2025年第六屆半導體用炭材料技術研討會在長沙召開。頂立科技董事長戴煜博士在會上作“半導體用關鍵涂層材料及熱工裝備技術與應用現(xiàn)狀”主題報告，介紹了公司在半導體關鍵涂層材料及熱
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