參考價(jià)格
5-10萬元型號(hào)
CIF-SEM品牌
CIF產(chǎn)地
中國樣本
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CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機(jī)采用遠(yuǎn)程、原位雙等離子清洗源設(shè)計(jì)，并可自動(dòng)切換，一機(jī)多用。遠(yuǎn)程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷，同時(shí)可實(shí)現(xiàn)常規(guī)等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內(nèi)碳?xì)浠衔锏那逑础?/span>
產(chǎn)品特點(diǎn)
u 雙等離子清洗源
u 一機(jī)多用
u 高效低損傷
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào) | CIF-SEM |
法蘭接口 | KF40 |
工作氣壓 | 0.3-3Pa |
等離子電源 | 13.56MHz射頻電源，射頻功率5-100W可調(diào)，自動(dòng)匹配器 |
氣體控制 | 標(biāo)配雙路50毫升/分氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），精確測量自動(dòng)控制氣體流量，不會(huì)受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮?dú)?、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
真空控制 | 美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計(jì)， 測量范圍1E-5Torr |
真空保證 | 真空計(jì)和電磁閥安全互鎖 |
操控方式 | 7寸全彩觸摸屏控制，中英文互動(dòng)操作界面 |
電源/功率 | 220V，50/60Hz，300W |
可選配件 | 可選氧氣、氮?dú)?、氫氣發(fā)生器， 氫氣純度﹥99.999％，輸出流量0-300ml/min |
質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護(hù) |
暫無數(shù)據(jù)！
等離子清洗機(jī)也叫等離子清潔機(jī)、等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子清潔機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來
等離子處理英文叫（plasmacleaner）又稱等離子清洗機(jī)，等離子表面改性設(shè)備,電漿清潔機(jī),等離子表面處理機(jī),等離子體表面處理設(shè)備,等離子蝕刻機(jī),等離子清洗器,等離子清洗儀，等離子體材料表面改性處
等離子表面處理儀是有用的對(duì)外表進(jìn)行清洗、活化和涂層的處理工藝之一，能夠用于處理各種資料，包括塑料、金屬或許玻璃等?！ 〉入x子表面處理儀是什么
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