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Monarc 陰極熒光系統(tǒng)

 型號(hào) 450

 Monarc?—重新定義了 SEM (掃描電子顯微鏡)上陰極熒光 (CL) 表征的能力。

通過(guò)突破性的光路設(shè)計(jì)，Monarc 具有顯著增加的靈敏度和譜分辨率，由此帶來(lái)的獨(dú)具特色的波長(zhǎng)-角度分辨能力，使您能夠進(jìn)行更為完整的陰極熒光（CL）表征分析工作。作為新一代的CL探測(cè)器，Monarc 為高要求的納米光子學(xué)（nanophotonics）、光電子學(xué)（optoelectronics）以及地質(zhì)科學(xué)等應(yīng)用領(lǐng)域帶來(lái)了全新的見(jiàn)解

性能優(yōu)點(diǎn)


快速獲取高質(zhì)量數(shù)據(jù)

? 以?xún)?yōu)異的空間分辨率（<10 1="" nm="" br="">（0.1 nm）采集 CL 數(shù)據(jù)

? 采集同時(shí)具有角度和波長(zhǎng)分辨能力的 CL 數(shù)據(jù)

? 相較前代技術(shù)，以高達(dá)30倍的更快速度采集超光譜
（hyperspectral）數(shù)據(jù)

操作簡(jiǎn)便

? 通過(guò)全自動(dòng)的光路對(duì)準(zhǔn)和基于配方驅(qū)動(dòng)的操作，得到優(yōu)化的結(jié)果

? 恒常對(duì)準(zhǔn)的光路為短期與長(zhǎng)期工作帶來(lái)可重復(fù)的結(jié)果

? 大視野提高數(shù)據(jù)采集通量，并簡(jiǎn)化用戶的工作流程

與其它信號(hào)的精確關(guān)聯(lián)

? 同時(shí)偵測(cè)多種信號(hào)，對(duì)物理性質(zhì)或成分信息與CL數(shù)據(jù)進(jìn)行關(guān)聯(lián)成像

? 不需折衷妥協(xié)——在進(jìn)行CL測(cè)量的同時(shí)，充分利用 SEM 的 in-lens探頭

圖 1. 該幅偏振過(guò)濾的 CL 圖像證明了 Monarc 能夠提供空間分辨率優(yōu)于10 nm 的 CL 數(shù)據(jù)。圖像來(lái)自尺寸在 100 nm 左右的星狀金納米顆粒兩組正交線性偏振發(fā)光的顏色疊加。

特色功能

? 角度分辨（angle-resolved CL，ARCL）：在遠(yuǎn)低于光學(xué)衍射極限的尺度上理解光與物質(zhì)的交互作用——相較前代技術(shù)，400x 更大視野，且不產(chǎn)生實(shí)際分辨率損失（**申請(qǐng)中）

? 波長(zhǎng)-角度分辨（wavelength- and angle-resolved CL, WARCL）：跨越多重觀察角度與波長(zhǎng)，對(duì)光與物質(zhì)的交互作用進(jìn)行可視化——?dú)w功于獨(dú)特的光路設(shè)計(jì)，以前無(wú)法做到或非常難以實(shí)現(xiàn)的表征手段，在 Monarc 上成為常規(guī)工作

? 偏振過(guò)濾：獲知例如光波段擔(dān)任納米天線、光子晶體等深度次波長(zhǎng)結(jié)構(gòu)的發(fā)光偏振性能

應(yīng)用領(lǐng)域
? 光電材料研發(fā)

? LED 和激光失效分析

? 顯示與照明

? 光-物質(zhì)交互作用基礎(chǔ)研究

? 納米光子學(xué)

? 光子晶體

? 地質(zhì)科學(xué)-痕量元素分布

? 光伏材料表征

? 熒光技術(shù)

Monarc 配備兩種不同型號(hào)，滿足不同應(yīng)用需求：


Monarc
適合于地質(zhì)科學(xué)與面分布成像應(yīng)用，Monarc 型號(hào)擁有不受譜分辨率影響的更大視野，并通過(guò)其新穎的波長(zhǎng)過(guò)濾譜成像能力，提供更高空間采樣的超光譜數(shù)據(jù)采集，性能大大超越基于前代技術(shù)的 SEM CL 探測(cè)器。


Monarc Pro
對(duì)于納米光子學(xué)與光電子材料應(yīng)用，Monarc Pro 更為適用，由于其提供了更高的靈敏度與譜分辨率；并具備特有的波長(zhǎng)-角度分辨分析能力以及偏振過(guò)濾選項(xiàng)。

圖 2. 使用 Monarc 對(duì)含有 V-pit 缺陷的GaN/InGaN多重量子阱樣品采集獲得的復(fù)合波長(zhǎng)過(guò)濾像，提取自超光譜數(shù)據(jù)塊 (紅色 = 504 ± 2 nm, 綠色 = 435 ± 2 nm, 紫色 = 365 ± 2 nm)。

圖 3. 運(yùn)用 Monarc 特有的波長(zhǎng)-角度分辨采譜模式，對(duì)薄膜 InGaN基 LED 發(fā)光性能近乎完整的表征。發(fā)射光與反射光之間相互干涉形成了隨著發(fā)光波長(zhǎng)而變化的發(fā)射圖樣。