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ALE原子層刻蝕
ALE原子層刻蝕

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ALE原子層刻蝕

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產(chǎn)地

英國

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牛津儀器科技(上海)有限公司

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我們的設(shè)備和工藝已通過充分驗證,正常運轉(zhuǎn)時間可達90%以上,一旦設(shè)備安裝完畢,可立即投入使用。PlasmaPro 100系列市場應(yīng)用廣,包括但不限于: MEMS和傳感器、光電子、分立元器件和納米技術(shù)。它具有足夠的靈活性,可用于研究和開發(fā),通過打造質(zhì)量滿足生產(chǎn)需求。


PlasmaPro 100 ALE 的特點:

  • 準(zhǔn)確的刻蝕深度控制;

  • 光滑的刻蝕表面

  • 低損傷工藝

  • 數(shù)字化/循環(huán)式刻蝕工藝——刻蝕相當(dāng)于ALD

  • 高選擇比

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  • 高深寬比(HAR)刻蝕工藝

  • 非常適于刻蝕納米級薄層

  • III-V族材料刻蝕工藝

  • 固體激光器InP刻蝕

  • VCSEL GaAs/AlGaAs刻蝕

  • 射頻器件低損傷GaN刻蝕

  • 硅Bosch和超低溫刻蝕工藝

  • 類金剛石(DLC)沉積

  • 二氧化硅和石英刻蝕

  • 用特殊配置的PlasmaPro FA設(shè)備進行失效分析的干法刻蝕解剖逆工藝,可處理封裝好的芯片, 裸晶片,以及200mm晶圓

  • 高質(zhì)量PECVD沉積的氮化硅和二氧化硅,用于光子學(xué)、電介質(zhì)層、鈍化以及諸多其它用途

  • 用于高亮度LED生產(chǎn)的硬掩模沉積和刻蝕


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