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牛津儀器PlasmaPro100 Estrelas刻蝕設備
牛津儀器PlasmaPro100 Estrelas刻蝕設備

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型號

牛津儀器PlasmaPro100 Estrelas刻蝕設備

品牌

牛津

產(chǎn)地

英國

樣本

暫無
牛津儀器科技(上海)有限公司

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PlasmaPro 100 Estrelas 平臺旨在提供深硅蝕刻(DSiE)領域的全方位的靈活性以滿足微電子機械系統(tǒng)(MEMS)、 先進封裝以及納米技術市場的各種工藝要求。考慮到研究和生產(chǎn)的市場發(fā)展,PlasmaPro 100 Estrelas 提供了工藝靈活性。

  • 光滑側壁工藝

  • 高刻蝕速率腔刻蝕

  • 高深寬比工藝

  • 錐形通孔刻蝕

  • 廣泛的應用領域

  • 機械或靜電壓盤

  • 加熱內襯          

  • 改善重復性

  • 延長了兩次清洗間的平均時間間隔(MTBC)

PlasmaPro 100 Estrelas平臺旨在確保覆蓋MEMS,先進封裝和納米技術的廣泛應用,從光滑側壁工藝到高刻蝕速率腔刻蝕、高深寬比工藝和錐形通孔刻蝕,不需要更換腔室硬件就可以實現(xiàn)。

  • 硬件設計使同一腔室中可進行Bosch?和超低溫刻蝕工藝,使得納米和微米結構刻蝕均可實現(xiàn)

  • 兼容50mm至200mm的襯底 - 確保您只需一臺系統(tǒng),便具備從研發(fā)器件到量產(chǎn)的能力

  • 自動匹配 - 擁有工藝靈活性

  • 更高流量的質量流量計以及等離子發(fā)生器 - 自由基密度更高

  • 減小的腔體尺寸和高效率的泵 - 確保氣體高速流通

  • 快速近距離耦合質量流量計 - 快速控制(初始為ALD而開發(fā))


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