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SIMS 工作站(SIMS Workstation－a complete SIMS Analysis Facility) ，綜合UHV / SIMS 設(shè)備，進(jìn)行高級(jí)的表面分析?？煽康?、普遍適用的SIMS分析工作站。
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·陰、陽離子、中性粒子、自由基的質(zhì)量、能量分析儀
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