參考價(jià)格
面議型號(hào)
品牌
產(chǎn)地
英國(guó)樣本
暫無(wú)看了高級(jí)朗繆爾探針(Langmuir Probe)的用戶又看了
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
ESPion高級(jí)朗繆爾探針(Advanced Langmuir Probes for Electrical Plasma Characterisation)可快速、可靠、精確地進(jìn)行等離子體診斷,是***可靠的朗繆爾探針(Langmuir Probe)。
技術(shù)參數(shù):
應(yīng)用:
· 蝕刻/沉積/ 清潔等離子體
· 脈沖等離子體操作
· 離子密度 (Ni & Gi)
· 電子溫度(Te)
· 電子能量分布(EEDF)
· 電子密度(Ne)
· 等離子體電位
· Debye 長(zhǎng)度,懸浮電位
主要特點(diǎn):
· 獲得數(shù)據(jù)速度:每秒15次掃描,通過(guò)D-O-E-界面可以自動(dòng)、半自動(dòng)或手動(dòng)分析
· Hiden在被動(dòng)射頻補(bǔ)償方面處于**地位,在所有的商業(yè)化探針中 ESPion 具
有**的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz cf. 100kohm)
· 高溫等離子體操作時(shí)的氣體制冷多感應(yīng)器鏈,使用者可調(diào)諧至其他頻率
· 參考探針補(bǔ)償用于抵制較低頻率影響,例如等離子體電位漂移(例如,反應(yīng)室
內(nèi)腔陽(yáng)極氧化所致) 或噪音(例如,供電源引起)
· ESPion 是所有商業(yè)化探針中*快速的脈沖等離子體探針,ESPsoft 包括所有
必需的標(biāo)準(zhǔn)脈沖選通電路
· 300、600、915mm 自動(dòng)線性驅(qū)動(dòng)器可選,互鎖隔離閥, 90°探針,組合式
線性-旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器可選
· 自清洗循環(huán),防止探針尖端污染
· 經(jīng)由RS232、RS485、Ethernet LAN 和 ESPsoft軟件控制
暫無(wú)數(shù)據(jù)!