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高真空檢漏儀
高真空檢漏儀

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廈門超新芯科技有限公司

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高真空檢漏儀采用高分辨顯微鏡平臺,xy軸微運動集成,以及高分辨電子相機和顯示屏,完全契合電鏡使用,具有極高的直接壓力分辨率和泄漏檢測靈敏度,并具有強大的擴展輸入和輸出、多通道參數(shù)設(shè)置和選擇、大容量記錄和存儲、通信處理、質(zhì)量檢測、數(shù)據(jù)傳輸?shù)墓δ艿鹊?。檢測靈敏度高,位置精確,操作便捷。

技術(shù)參數(shù):

1)整體尺寸:L*W*H=600*600*1250,柜臺高805(單位:mm),以實物為準。

2)壓力范圍:0-1000mbar。

3)適用電鏡樣品臺:FEI、JEOL、Hitachi(適配)

4)適用原位反應(yīng)艙芯片:自組裝鍵合一體式芯片,加熱芯片,納流體芯片。

5)極限真空小于等于1×10-6 mBar,原位樣品臺檢漏操作真空度小于等于8×10-5 mBar。

6)接口模塊含控制閥門,以在電源關(guān)閉時保持真空狀態(tài),或在檢漏完成,實現(xiàn)檢漏模塊氣體通入,加速樣品臺取出過程。

7)數(shù)字顯微系統(tǒng)分辨率優(yōu)于1微米,幀率大于等于30/秒。

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