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Park NX-Hivac型高真空原子力顯微鏡

NX-Hivac 型真空原子力顯微鏡是主要用為對氣氛與水敏感材料研究專門設計的一款高真空原子力顯微鏡。NX-Hivac同樣是一款全自動的原子力顯微鏡系統(tǒng)，掃描分辨率達到了0.02nm，集成了Park公司**技術“非接觸式工作模式”“智能掃描模式”“基于壓電陶瓷堆積技術的平板掃描器”，并標配快速掃描模式，變速掃描模式，加上可選功能模塊，使得NX-Hivac型原子力顯微鏡被廣泛用于物理，電學，力學，半導體等方向的研究。

Park NX-Hivac型真空原子力顯微鏡技術特色：

1）真空度高，達10-4Pa，抽真空速度快，5min內(nèi)達到10-5Torr以下

2）在高真空條件下執(zhí)行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為精確的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。

3）NX-Hivac 真空自動控制

Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制**真空條件抽氣和排氣過程來實現(xiàn)高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更高效。?

4）采用非接觸式工作模式：

Park公司是目前全球**一家真正實現(xiàn)非接觸測量模式的原子力顯微鏡廠家，在不影響測量精度的前提下，可實現(xiàn)樣品與針尖的非接觸測量，避免了由于針尖磨損帶來測量重復性差與探針磨損快的缺點。

下圖是測量CrN樣品的實例，CrN樣品的硬度很高，具有三角形結(jié)構(gòu)，采用非接觸模式測量100幅圖后，圖像質(zhì)量幾乎無變化，針尖幾乎無磨損?。?！

5）探測器噪聲水平為全球業(yè)界*低：0.02nm

Z軸探測器是全新的NX系列原子力顯微鏡的核心技術改進之一，它是Park**的新型應變傳感器，憑借著0.2埃的超低噪聲，它一躍成為行業(yè)內(nèi)噪聲*低的Z軸探測器，檢測原子臺階及其容易。

6）采用全球**性能平板掃描器：采用**技術得三軸分離的平板掃描器，在整個80μm的掃描范圍內(nèi)誤差＜1nm !!!!

7）操作極其簡單：

- 具有“智能掃描模式”Smart scan：這是Park公司的**技術之一，用戶只需要選擇掃描速度及掃描范圍，系統(tǒng)即可自動調(diào)整反饋，無需尋找共振峰，無需調(diào)整反饋參數(shù)gain值

- 具有中文，英文等多種操作界面

- 憑借著我們先進的預準直懸臂架，懸臂在裝載時激光便已完成聚焦。并且，自上而下的同軸視角（行業(yè)****）讓您可以輕松地找到激光光點。由于激光垂直照射在懸臂上，您可以憑直覺旋動兩個定位旋鈕，將激光光點隨著X軸和Y軸移動。這樣，您可以在激光準直界面中，輕易地找到激光并將其定位在PSPD上。此時，您只需要稍作調(diào)整實現(xiàn)信號的**化，便可開始獲取數(shù)據(jù)。

• Park NX-Hivac型高真空原子力顯微鏡技術指標：

- XY方向閉環(huán)掃描范圍：100μm×100μm

- Z方向閉環(huán)掃描范圍：15μm

- 系統(tǒng)噪聲水平：≤0.02nm

- 全自動樣品臺： 22mm×22mm

- 樣品臺放置單個**樣品尺寸100mm*100mm*20mm

- 真空系統(tǒng)：配置兩級抽真空裝置，真空度：≤10-4Pa

- 抽真空速度：5 mins以內(nèi)達到5X10-5 Torr以下

- 真空倉體內(nèi)部尺寸：250 mm×320 mm×270 mm (WxDxH)

- 正面提供透-真空系統(tǒng)管理軟件：直觀的控制抽真空和排氣過程，具有高可視性和易用性，每個過程都可以通過示意圖顏色的變化進行可視化監(jiān)控