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Nanovea PS50非接觸式光學(xué)輪廓儀
Nanovea PS50非接觸式光學(xué)輪廓儀

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美國

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上海艾堯科學(xué)儀器有限公司

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PS50型三維表面形貌儀是一款科研版的三維表面形貌測量設(shè)備,采用國際**的白光共聚焦技術(shù),可實現(xiàn)對材料表面從納米到毫米量級的粗糙度測試,具有測量精度高,速度快,重復(fù)性好的優(yōu)點,該儀器性價比高,可用于取代傳統(tǒng)的探針式表面形貌儀與干涉式表面形貌儀。

產(chǎn)品特性

采用白光共聚焦色差技術(shù),可獲得納米級的分辨率

測量具有非破壞性,測量速度快,精確度高

測量范圍廣,可測透明、金屬材料,半透明、高漫反射,低反射率、拋 光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒…);

尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面

不受環(huán)境光的影響

測量簡單,樣品無需特殊處理

Z方向,測量范圍大:為27mm

主要技術(shù)參數(shù)

掃描范圍:50×50(mm)

掃描步長:0.1μm

掃描速度:20mm/s

Z方向測量范圍:27mm

Z方向測量分辨率:2nm

產(chǎn)品應(yīng)用

MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能、摩擦磨損、汽車、腐蝕、砂紙、巖石等。

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