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jasco,橢圓率計
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日本

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佳士科商貿(mào)有限公司

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日本分光制的橢圓計配有日本分光**產(chǎn)的PEM雙重鎖定方式和光伺服?光參考方式,實現(xiàn)高速性和高安定性。由于偏光素子的軸配置適合特別薄的膜和微小的偏光測量,所以主要用于向高集積化和高精細化發(fā)展的半導(dǎo)體及高機能光學(xué)薄膜等材料的評價。

規(guī)格

型號

M-210

M-220

M-230

M-240

M-550

ELC-300

測量方法

PEM雙重鎖定方式、光伺服/參照控制方式

分光器

-

雙單色器自動波長驅(qū)動裝置

雙單色器

260900nm單單色器

9001700nm自動波長驅(qū)動裝置

單單色器自動驅(qū)動裝置

雙單色器自動波長驅(qū)動裝置

測量波長

He-Ne激光 (632.8nm)

He-Ne激光 (632.8nm)

Xe光源 (260860nm)

He-Ne激光 (632.8nm)

Xe光源

(240700nm)

He-Ne激光 (632.8nm)

Xe光源

(26900nm)鹵素?zé)?/span>

(9001700nm)

Xe光源 (350800nm)

He-Ne激光 (632.8nm)

Xe光源 (260860nm)

入射  角范圍

40゜~ 90連續(xù)自動設(shè)定0.01間隔

45゜~ 90連續(xù)自動設(shè)定0.01間隔

40゜~ 90連續(xù)自動設(shè)定0.01間隔

膜厚測量范圍

099999?

測量時間

1msec以上

20μsec16sec

測量準確度*

屈折率 ±0.01

膜厚 ±1?

消衰係數(shù) ±0.01

*準確度是指測量時間100msec以上。另外、根據(jù)表面狀態(tài)、膜質(zhì)不同準確度也不同。

樣品室

樣品垂直放

樣品水平放

樣品垂直放

檢測器

光子(Glan-Taylor棱鏡紫外可見區(qū)域:光子倍増管 近紅外區(qū)域InGaAs-PIN電二極管M-240

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

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