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六軸并聯(lián)定位臺，納米/微米定位臺，壓電陶瓷/壓電促動器，壓電偏擺鏡，壓電控制器，直線電機/直線促動器，電容位置傳感器
| 六軸并聯(lián)定位臺 六自由度高精度并聯(lián)運動 無軸間運動串擾和誤差累計 低運動慣量，高結(jié)構(gòu)剛度 可自由設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心 特殊設(shè)計可承受1000公斤以上負載 | |
| 納米定位臺 從1軸到6軸運動 并聯(lián)運動和并聯(lián)測量技術(shù) 保持記錄的高**精度與重復精度 可選電容傳感器**可達0.02nm閉環(huán)分辨率 定制型號可選擇銦鋼、鈦等不同材料 | |
| 微米定位臺 從1軸到6軸的直線與旋轉(zhuǎn)運動 直線電機/陶瓷電機/步進/直流伺服 獨有的大行程納米定位技術(shù) 力矩電機+氣浮軸承超高精度轉(zhuǎn)臺 直線臺/升降臺/旋轉(zhuǎn)臺/搖擺臺/多軸臺 | |
| 壓電陶瓷/壓電促動器 **壓電陶瓷技術(shù)，高可靠性，長壽命 亞納米級位移分辨率，微秒級響應(yīng)時間 輸出力**可達50000N 無機械空回，無靜摩擦和滑動摩擦 不受磁場干擾，提供真空、低溫兼容產(chǎn)品 | |
| 壓電偏擺鏡 1維至2維超快可控偏擺運動 光學偏擺范圍**可達120mrad 超快響應(yīng)時間，超高角度定位精度 大量用于光學追蹤、掃描、穩(wěn)像等應(yīng)用 可根據(jù)用戶的不同需求進行定制 | |
| 直線電機/直線促動器 壓電陶瓷電機/直線電機/步進/直流伺服 PiezoWalk技術(shù)提供毫米級運動行程和亞納米級分辨率，大推力，可自鎖 PiezoWalk系列超小尺寸高速運動 可根據(jù)不同推力、行程、速度和精度要求進行定制 | |
| 壓電控制器 單系統(tǒng)1軸到6軸，以及多軸串接 模擬和數(shù)字多種內(nèi)部結(jié)構(gòu)可選 RS232，USB，TCP/IP等多種計算機接口 先進的低噪聲驅(qū)動和高級控制算法 提供控制界面和二次開發(fā)包，支持LabView， C++， VC， VB， Delphi， Matlab等 | |
| 微米定位系統(tǒng)控制器 單通道及多通道系統(tǒng) 微步控制/混合控制/實時差補/并行控制 RS232，USB，TCP/IP，CAN等多種接口 多通道系統(tǒng)多種控制網(wǎng)絡(luò)方式可選 提供控制界面和二次開發(fā)包，支持LabView， C++， VC， VB， Delphi， Matlab等 | |
| 電容位置傳感器 位置、運動、振動的非接觸測量 量程從10微米到1000微米 皮米級位移分辨率，10KHz的帶寬 耐高溫，長時間穩(wěn)定性（<0.1nm/3h） 無磁及真空環(huán)境兼容 |
暫無數(shù)據(jù)！
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