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PIMars納米定位平臺

應(yīng)用領(lǐng)域

• 掃描顯微鏡

• 掩模/晶圓定位

• 干涉測量

• 測量技術(shù)

• 生物技術(shù)

• 掃描和篩選

帶電容式傳感器，實現(xiàn)亞納米分辨率

電容式傳感器以亞納米分辨率進(jìn)行測量，且無接觸。它們可確保優(yōu)異的運動線性、長期穩(wěn)定性和千赫茲范圍的帶寬。

自動配置和快速部件更換

機(jī)械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數(shù)均存儲在機(jī)械部件的Sub-D連接器的ID芯片中。每當(dāng)控制器啟動時，數(shù)字控制器的自動校準(zhǔn)功能就會使用這些數(shù)據(jù)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

壓電陶瓷系統(tǒng)中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統(tǒng)可實現(xiàn)極低的排氣率。

PIMars納米定位平臺

PICMA壓電陶瓷促動器帶來超長使用壽命

PICMA壓電陶瓷促動器為全瓷絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。PICMA促動器的使用壽命比傳統(tǒng)的聚合物絕緣促動器長達(dá)十倍。它們被證明可實現(xiàn)無故障運行1000億個循環(huán)。

零間隙柔性鉸鏈導(dǎo)向帶來高導(dǎo)向精度

柔性鉸鏈導(dǎo)向無需維護(hù)、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現(xiàn)高負(fù)載能力，且它們對震動和沖擊不敏感不敏感。它們真空兼容，可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。

并聯(lián)位置測量實現(xiàn)納米級的高跟蹤精度

各自由度均相對于單一固定參考進(jìn)行了測量。對其他軸的不良運動串?dāng)_均可得到實時主動補(bǔ)償（取決于帶寬）（主動導(dǎo)向）。即使在動態(tài)操作中，跟蹤精度也可高達(dá)納米級。

德國Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米與納米定位技術(shù)的研發(fā)與制造。PI代表著技術(shù)性能，定位精度可達(dá)納米。PI可獲得的組件獨立于市場上，并提供超越現(xiàn)有技術(shù)水平的單獨解決方案。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競爭優(yōu)勢。 Physik Instrumente提供了超越全球競爭的技術(shù)范圍和垂直生產(chǎn)范圍。然而，PI重要的關(guān)注是通過定位解決方案不斷地激勵客戶。今天，無論是在計量、顯微，生命科技，還是激光技術(shù)，精密加工技術(shù)；無論是半導(dǎo)體科技，數(shù)據(jù)存儲技術(shù)，還是光電子/光纖，天文等領(lǐng)域，PI的產(chǎn)品和技術(shù)正得到越來越廣泛的應(yīng)用，也贏得了越來越廣泛的贊譽。 Physik Instrumente (PI)主要產(chǎn)品： 線性平臺和執(zhí)行器 電動旋轉(zhuǎn)平臺和測角器 XY平臺 六足/平行運動 XYZ掃描儀 Z-/傾斜平臺，提示/傾斜鏡和有源光學(xué) 陶瓷部件 壓電陶瓷組件 壓電陶瓷執(zhí)行器 控制器和驅(qū)動器 空氣軸承導(dǎo)向系統(tǒng) 主要型號： E-709、E-609、E-753、E-610、E-621、E-625、E-500、E-725、N-216、N-111、N-310、U-264、N-422、P-601、P-602、P-603、P-604、C-867、E-871、E-861、E-755、C-663、C-885、C-843、C-884、C-863、LPS-45、LPS-23、LPS-24、M-664、M-664KCEP、P-887.91、P-882.11、P-882.31、P-882.51、P-883.11、P-883.31 、P-883.51、P-885.11、P-885.31、P-885.51、P-885.91