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工作原理 離子減薄制樣技術(shù)屬于離子束加工范疇。其方法是用高能離子束轟擊樣品表面、高能離子與樣品表面原子發(fā)生彈性碰撞、樣品表面原子能量增大至高于該原子逸出功時(shí)，便飛離樣品，從而使樣品逐漸減薄。離子減薄儀通常用雙槍從樣品兩側(cè)轟擊。樣品隨著支架旋轉(zhuǎn)，使得離子束轟擊均勻。 產(chǎn)品描述 GL2011型離子減薄儀由國內(nèi)頂尖專家精心設(shè)計(jì)制作，性能穩(wěn)定，應(yīng)用廣泛，可對(duì)金屬、非 金屬、陶瓷、礦物、半導(dǎo)體、骨骼、牙齒等幾乎所有固體材料進(jìn)行精密減薄處理。 產(chǎn)品特點(diǎn)
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技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱 | 離子減薄儀 |
離子束加速電壓 | 0-10KV 連續(xù)可調(diào) |
**束流密度 | 大于 200μA/cm |
減薄速度 ( 銅) | 30μ/h（**） |
樣品對(duì)離子束的傾角 | 5-90°（普通臺(tái)） 0-90°（精細(xì)拋光臺(tái)） |
真空度 | 5×10-3Pa（不送氣） |
離子束對(duì)樣品的*小傾角 | 7°（普通試樣臺(tái)） 2°（拋光試樣臺(tái)） |
案例：超薄鋁箔離子減薄效果
| 減薄15微米 | |
減薄20微米 | |
減薄25微米 | |
案例說明： 樣品為約100u的鋁箔，表面為鋁的氧化物。用化學(xué)方法或者物理摩擦的方法減薄，都會(huì)非常明顯的破壞樣品表面形貌，甚至改變樣品化學(xué)成分。 使用GL-2011型離子減薄儀減薄后，在電子顯微鏡下可以觀察到，樣品沒有任何變形，而且獲得**清晰的樣品圖像。 | |
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