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產(chǎn)品描述
NVM-6000P是專(zhuān)用型設(shè)備，用于基板表面形貌的測(cè)量。
基板上的Via Hole，Pad形狀，pattem形貌和表面形貌等11個(gè)項(xiàng)目可以進(jìn)行自動(dòng)測(cè)量。
在高速測(cè)量下仍具有優(yōu)秀的重復(fù)性和準(zhǔn)確性，支持用戶設(shè)定測(cè)量條件和測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)保存及分析功能。
產(chǎn)品規(guī)格
掃描范圍：0-180um（270um可選）
垂直分辨率：WSI：﹤0.5nm
臺(tái)階高度重復(fù)性:﹤0.5%(1σ)
橫向分辨率：0.2-4um（取決于物鏡和FOV）
工作臺(tái)面：510X405mm（程控）
尺寸：1200(w)X1250(D)X1900(H)
應(yīng)用領(lǐng)域
Nano View系列為L(zhǎng)CD（液晶顯示器）、IC Package（芯片封裝）、Substrate（基板）、Build-up PCB（積層板）、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)），Engineering Surfaces（工程表面）等等領(lǐng)域提供納米級(jí)別精度的量測(cè)。
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