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通過半浸沒物鏡進(jìn)行高分辨率觀察和分析
半浸沒式（semi-in-lens）物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細(xì)；浸沒式（in-lens）肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍壽命長，能獲得穩(wěn)定的電流，這兩者的結(jié)合使高分辨率觀察和高空間分辨率分析能夠兼顧。
通過柔和光束，以能量極低的入射電子束觀察樣品的淺表面
通過給樣品加以偏壓并照射電子束，能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以能量為數(shù)百電子伏的入射電子束對(duì)樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀察，這是迄今為止未能實(shí)現(xiàn)的。
高性能電子光學(xué)系統(tǒng)能進(jìn)行快速、高精度的分析
電子光學(xué)系統(tǒng)采用了High Power Optics（高性能電子光學(xué)系統(tǒng)）。不僅能進(jìn)行高分辨率觀察還可以進(jìn)行穩(wěn)定、快速、高精度的元素分析。
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