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卷對(duì)卷柔性薄膜沉積設(shè)備
Cassette houses flexible material
卷筒用于裝載柔性襯底材料
Cassette transported from one process chamber to another via a robotic handler
制備薄膜時(shí),卷筒可由真空機(jī)器手從一個(gè)腔室輸送至另一個(gè)腔室
Advantages 此沉積系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)
- Eliminates cross-contamination 在制備多層膜器件時(shí)消除了交互摻雜影響
- Flexibility to adjust parameters on any part of the process. 制備薄膜時(shí),能靈活控制各種運(yùn)轉(zhuǎn)沉積參數(shù)
- Down time reduced, i.e. each chamber can be serviced independently 因每個(gè)腔室可單獨(dú)維護(hù),減少了停機(jī)非運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間
Reel to Reel Cassette Cluster tools
Cluster tool w/ 8 port locations
具有8個(gè)腔室的團(tuán)簇型沉積系統(tǒng)
15cm and 30cm webwidth
柔性襯底的寬度可從15cm至30cm
Computer controlled
可完全由電腦程序控制操作運(yùn)行
PECVD, HWCVD and Sputter capability
制備方式包括等離子體和熱絲化學(xué)氣相沉積,及濺射
(US patent #6,258,408B1)
(本產(chǎn)品獲美國(guó)**#6,258,408B1)
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