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四探針探針頭
Jandel公司生產(chǎn)的具有6個(gè)連接通道的cartridge型四探針探頭.其創(chuàng)意設(shè)計(jì)是與CDE系統(tǒng)相兼容.
所有jandel公司生產(chǎn)的探頭具有非常高的機(jī)械精度。通過(guò)視頻檢測(cè)系統(tǒng)和光學(xué)干涉儀來(lái)驗(yàn)證規(guī)范探針半徑曲率、間距以及平面性（平面度/平整度）， 其負(fù)荷是通過(guò)電子測(cè)力計(jì)來(lái)驗(yàn)證。并且每個(gè)探針都通過(guò)帶有寶石導(dǎo)向針進(jìn)行上下移動(dòng)。
雖然該探頭與KLA/ Tencor /Prometrix公司制造的工具的探頭非常的相似，但是這倆個(gè)探頭之間并不能替換，且要小心的保護(hù)它們，尤其是當(dāng)倆個(gè)系統(tǒng)同時(shí)使用時(shí).CDE兼容的探頭有一個(gè)獨(dú)特的黑色物鏡轉(zhuǎn)換器。
探針間距 | 0.500mm，0.635mm， 1.00mm， 1.27mm， 1.591mm (針與針之間) |
公差 | ±10μm |
排列 | 線性或者矩形排列 |
探針頭 | 碳化鎢/直徑d=0.4mm（直徑d=0.3mm可用于近間距密植距） |
針頭材質(zhì)選擇 | 可建議選用50%的鋨合金材質(zhì) |
針尖半徑曲率 | 12.5， 25， 40， 100， 150， 200， 300， 500 μm |
緩沖區(qū) | 0.5mm |
平面度 | ≥ ±0.025（或更好） |
針尖壓力 | 10g~250g |
漏電 | 當(dāng)電壓500V時(shí)，其兩針之間的其電阻為1013Ω |
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