Resmap 273

在178型的技術(shù)基礎(chǔ)上，ResMap273是半導(dǎo)體行業(yè)首款30毫米桌面四點(diǎn)探針儀。273型擴(kuò)展了ResMap原來(lái)一些產(chǎn)品的性能，實(shí)現(xiàn)了太陽(yáng)能對(duì)210毫米大型襯底的要求。外形小巧，堅(jiān)固耐用，準(zhǔn)確性和重復(fù)性好。

提供NIST標(biāo)準(zhǔn)片6片!

產(chǎn)品特點(diǎn)：操作簡(jiǎn)單、快速精確

電阻測(cè)量范圍：1 mΩ/?? - 5 MΩ/??

典型應(yīng)用：非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測(cè)量；選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片；新型電極設(shè)計(jì)，如電鍍銅電阻測(cè)量等

美國(guó)CDE**技術(shù): 可針對(duì)材料(不同材料、軟硬薄膜或離子植入深或淺等條件，對(duì)下針狀況**化。而此功能是可由軟見(jiàn)操作，可有0.01mm 的分辨率，而非麻煩的硬件調(diào)整。

美國(guó)CDE**技術(shù): 可針對(duì)材料(不同材料、軟硬薄膜或離子植入深或淺等條件，對(duì)下針狀況**化。而此功能是可由軟見(jiàn)操作，可有0.01mm 的分辨率，而非麻煩的硬件調(diào)整。

測(cè)試性能指標(biāo)：

探針材料 WC

探頭壽命> 500W次

Resmap168，178，273區(qū)別：

四探針?lè)y(cè)量電阻率有個(gè)非常大的優(yōu)點(diǎn)，它不需要較準(zhǔn)；有時(shí)用其它方法測(cè)量電阻率時(shí)還用四探針?lè)ㄝ^準(zhǔn)。

與四探針?lè)ㄏ啾?，傳統(tǒng)的二探針?lè)ǜ奖阈?，因?yàn)樗恍枰僮鲀蓚€(gè)探針，但是處理二探針?lè)ǖ玫降臄?shù)據(jù)卻很復(fù)雜。如圖一，電阻兩端有兩個(gè)探針接觸，每個(gè)接觸點(diǎn)既測(cè)量電阻兩端的電流值，也測(cè)量了電阻兩端的電壓值。我們希望確定所測(cè)量的電阻器的電阻值，總電阻值：

RT = V/I = 2RW + 2RC + RDUT；

其中RW是導(dǎo)線電阻，RC是接觸電阻，RDUT是所要測(cè)量的電阻器的電阻，顯然用這種方法不能確定RDUT的值。矯正的辦法就是使用四點(diǎn)接觸法，即四探針?lè)?。如圖二，電流的路徑與圖一中相同，但是測(cè)量電壓使用的是另外兩個(gè)接觸點(diǎn)。盡管電壓計(jì)測(cè)量的電壓也包含了導(dǎo)線電壓和接觸電壓，但由于電壓計(jì)的內(nèi)阻很大，通過(guò)電壓計(jì)的電流非常小，因此，導(dǎo)線電壓與接觸電壓可以忽略不計(jì)，測(cè)量的電壓值基本上等于電阻器兩端的電壓值。

四探針?lè)ㄍㄟ^(guò)采用四探針?lè)ㄈ〈结樂(lè)ǎM管電流所走的路徑是一樣的，但由于消除掉了寄生壓降，使得測(cè)量變得精確了。四探針?lè)ㄔ贚ord Kelvin使用之后，變得十分普及，命名為四探針?lè)ā?/span>

成功案例-美國(guó)CDE四探針測(cè)試儀

感謝以下客戶購(gòu)買美國(guó)美國(guó)CDE四探針測(cè)試儀

作為半導(dǎo)體行業(yè)四探針測(cè)試儀測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)之一，購(gòu)買美國(guó)CDE 四探針測(cè)試儀的單位非常多。

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科研客戶：清華大學(xué)，天津大學(xué)，浙江大學(xué)中山大學(xué)浙江師范大學(xué)?復(fù)旦大學(xué) 北京師范大學(xué) 河北大學(xué)。。。。。。

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不能一一列舉敬請(qǐng)諒解