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Autoconcept GD90是一個(gè)專為高精度元素分析所設(shè)計(jì)的高分辨輝光放電質(zhì)譜儀。此輝光放電質(zhì)譜儀（GDMS）提供了固體金屬與絕緣體的直接分析檢測(cè)。它具有非常寬的元素覆蓋范圍，可得到超過(guò)70種元素的有效數(shù)據(jù)，靈敏度高，輕元素重元素均可。

GDMS技術(shù)使原子化（碎片化）過(guò)程與離子化過(guò)程分開進(jìn)行，故而可容易的對(duì)ppb至ppt級(jí)別的痕量雜質(zhì)進(jìn)行測(cè)量。此法還使得GDMS技術(shù)擁有*小的基體效應(yīng)且無(wú)須特定參照材料。它可對(duì)金屬與合金進(jìn)行全掃描分析，可對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行大量的測(cè)量分析，可對(duì)多層結(jié)構(gòu)與鍍層進(jìn)行深度剖析。是包括金屬、合金、半導(dǎo)體以及絕緣體（須配RF源）等高純材料的生產(chǎn)與質(zhì)量控制的理想工具。

主要特性：

·高分辨率，特別是對(duì)于有干擾離子存在的測(cè)定而言十分重要。

·廣泛的元素涵蓋范圍，軟件中包括70個(gè)元素相關(guān)的干擾離子數(shù)據(jù)。

·由于原子化和離子化過(guò)程發(fā)生在不同區(qū)域，帶來(lái)可忽略的基體效應(yīng)。

·低至亞ppb級(jí)的定量數(shù)據(jù)。

·具有深度剖面同位素比值分析能力。

·*少的樣品制備過(guò)程。