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主動減震臺/光學(xué)平臺

品牌：Herz

型號：TS-150

描述：TS-150主動隔振臺是一款緊湊型動態(tài)隔振系統(tǒng)，可用于抵消工作環(huán)境對高靈敏度精密設(shè)備產(chǎn)生的不必要振動，以提高精密設(shè)備的工作性能，使用簡便，具有優(yōu)異的隔振性能及通用性。適用于各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發(fā)射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡、白光干涉儀，光刻機(jī)，微納米結(jié)構(gòu)和加工儀器！超低頻隔震臺、防震臺、減震臺、除震臺，隔振臺，主動隔振臺，主動減振臺，主動防震臺，主動防振系統(tǒng)。

工作原理

TS 系列主動隔振臺采用先進(jìn)的隔振技術(shù)，可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和垂直方向），TS 系列主動隔振臺利用控制器內(nèi)的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉(zhuǎn)換為電信號發(fā)送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產(chǎn)生一個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。隔振系統(tǒng)利用一個反饋回路消除隔振系統(tǒng)的機(jī)械共振。

產(chǎn)品亮點(diǎn)：

六個自由度全方位隔振

研究級壓電傳感技術(shù)

即插即用系統(tǒng)

LCD實(shí)時顯示（振動水平，重量分布等）

主動隔振性能突出

集成簡便

專注科研，無需安裝和維護(hù)

應(yīng)用范圍：

原子力顯微鏡

干涉測量

輪廓測量

3D輪廓儀

表面輪廓儀

納米光子學(xué)

白光干涉儀

三維表面形貌分析儀

超景深顯微鏡

激光干涉儀

光鑷應(yīng)用

超高速光通信

升級選項(xiàng)：

工作臺集成 （包括架子，監(jiān)控器支架，鍵盤托盤等）

隔音箱集成 (如靜噪器，AEK-2002及定制隔音設(shè)備)

定制面板尺寸及材料 （通常為阻尼鋁板，面板可定制不銹鋼，鐵磁鋼，可打孔）

振動器集成（激勵源）

遠(yuǎn)程顯示 （重量分布，內(nèi)部電機(jī)調(diào)平，X/Y/Z軸振動水平，啟動/關(guān)閉組件，開關(guān)隔振臺）

遠(yuǎn)程電源 （免受電磁噪音或熱量干擾）

技術(shù)參數(shù)：

型號：TS-150/LP ※可選：TS-150/LP/TP25

系統(tǒng)配置：完全整合

主動隔振范圍：頻率大致為 0.7 ～ 300 Hz (超過300 Hz為被動隔振)

幅度: 20 um (垂直和水平)

高度調(diào)節(jié)：自動

搬運(yùn)或運(yùn)輸期間鎖定：自動鎖定功能

隔振條件：可在前顯示屏上觀察到?？赏ㄟ^將示波器連接到后面板上的BNC 插座觀察8 軸振動狀態(tài)。

安裝板尺寸：400 (W) x 450 (D) mm

整體尺寸 (大約)：400 (W) x 450 (D)x 78 (H) mm

負(fù)載能力(同等 /低重心）：150 kg（考慮到負(fù)載上的偏心重量，請?jiān)?*負(fù)載能力80% 范圍內(nèi)使用）

系統(tǒng)重量 (大約)：18 kg

輸入電壓：90 ～ 120 ＶAC， 200 ～ 240 VAC， 43-60 Hz

功耗：隔振期間** 10 W，負(fù)載調(diào)整期間** 20 W

溫度范圍：5 ℃ ～ 40 ℃

相對濕度：10 ～ 90 %（5 ～ 30 ℃），10 ～ 60 %（30 ～ 40 ℃）

服務(wù)場所：僅用于室內(nèi)

工作高度：高達(dá)2，000 m

選項(xiàng)1 TP25 安裝板: 鐵磁拉絲不銹鋼410 表面， 無漆，

M6-25 mm XY 矩陣鉆孔和螺孔，有效攻絲深度: 6 mm

選項(xiàng) 2 遙控盒

選項(xiàng) 3 內(nèi)置減振功能的高剛性框架

隔振效果：

性能對比圖：AFM 的研究人員在兩種獨(dú)特條件下進(jìn)行成像： 不含隔振系統(tǒng)和包含TS 系列隔振臺。當(dāng)使用TS系列隔振臺搭載AFM時，所得圖像表明圖像質(zhì)量和整體測量清晰度得到大幅提升。