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新型臺式掃描電鏡TM4000
新型臺式掃描電鏡TM4000

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日立科學(xué)儀器(北京)有限公司

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TM4000“TM4000Plus”可簡化從樣品觀察、圖像確認(rèn)到生成報告等一系列操作過程,大幅提高了工作效率。還標(biāo)配了報告生成功能,觀察結(jié)束后可十分輕松地將拍攝的圖像制作成Microsoft®Word®、Excel®、PowerPoint®格式的報告。此外,選配項(xiàng)還可實(shí)現(xiàn)更多功能。可在樣品倉內(nèi)加裝光學(xué)相機(jī)來拍攝照片,以往通過經(jīng)驗(yàn)尋找目標(biāo)位置*1,現(xiàn)在可在顯示屏上直接操作。在拍攝SEM圖像時,由于“TM4000”“TM4000Plus”配置雙軸馬達(dá)臺*2,原來需手動調(diào)整的操作,現(xiàn)在只需在顯示器上選擇要觀察的位置即可。

*1尋找目標(biāo)位置:指確認(rèn)正在觀察的樣品位置和尋找要觀察的樣品位置的操作。一般情況下,電子顯微鏡放大倍率較高,不僅僅需要觀察局部圖像,還要觀察整體的圖像。

*2雙軸馬達(dá)臺:根據(jù)操作人員的觀察需求,可自動將樣品移動到SEM圖像拍攝位置的裝置。

另外,在確認(rèn)拍攝的SEM圖像時,由于SEM圖像放大倍率高,找到所有SEM圖像的觀察位置需要花費(fèi)一定時間。而這兩種機(jī)型可使用軟件將低倍率和高倍率SEM圖像的位置關(guān)系進(jìn)行關(guān)聯(lián),并將結(jié)果顯示在顯示器上,使各圖像的位置更為直觀。

兩種機(jī)型經(jīng)過全新設(shè)計,尺寸和重量比前代機(jī)型更小,還可選配光學(xué)相機(jī)和雙軸馬達(dá)臺,今后將會被應(yīng)用到更廣泛的領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 報告生成簡單化

儀器支持輸出Microsoft公司發(fā)行的Word®Excel®、PowerPoint®格式,預(yù)置圖像插入模板,生成報告非常簡單。

  • 可根據(jù)觀察條件設(shè)置儀器

樣品倉內(nèi)的真空度及加速電壓有多種選擇,可根據(jù)需求自行設(shè)置。

  • 簡化尋找視野、圖像拍攝、圖像確認(rèn)等一系列操作過程(選配)

通過在樣品倉內(nèi)安裝光學(xué)相機(jī)來拍攝整個樣品,可實(shí)現(xiàn)在顯示器上觀察樣品的同時,尋找樣品目標(biāo)位置。而且,僅需在顯示器上點(diǎn)擊希望觀察的位置,即可進(jìn)行SEM圖像拍攝。還可使用軟件將低倍率和高倍率SEM圖像的位置關(guān)系進(jìn)行關(guān)聯(lián),并將結(jié)果顯示在顯示器上,使各圖像的位置更為直觀。

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