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德國(guó)BMT WLI VLA干涉儀
德國(guó)BMT WLI VLA干涉儀可快色準(zhǔn)確的測(cè)量粗糙和鏡面反射工件的表面輪廓?？捎糜跍y(cè)量平整度、波紋度、扭曲、臺(tái)階高度和多種其他表面特性。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
•粗糙和鏡面反射表面的微觀測(cè)量
•平整度和輪廓測(cè)量
•測(cè)量結(jié)果不受樣品的顏色和材料影響
•測(cè)量時(shí)間短，數(shù)秒完成
•測(cè)量范圍大
•快速分析表面結(jié)構(gòu)
•非常小巧
•自動(dòng)獲取數(shù)據(jù)并評(píng)估進(jìn)行
•可定制各種配置
•幾乎免維護(hù)
技術(shù)參數(shù)：
•光源 LED
•測(cè)量范圍 （mm) 15
•垂直分辨率（nm） ≥1
•橫向分辨率（μm） 20-80
•測(cè)量面積 （mm） 10×10— 40×40
•工作距離 （mm) 24
•數(shù)碼相機(jī)＜14位（Pixel） 1280×1024
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