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儀器簡(jiǎn)介:
此系統(tǒng)通過(guò)手動(dòng)或自動(dòng)方式實(shí)現(xiàn)對(duì)材料表面的點(diǎn)電阻或面電阻進(jìn)行測(cè)量表征,可通過(guò)圖譜,數(shù)據(jù),2D或3D方式體現(xiàn);儀器與電腦連接使用,可通過(guò)專業(yè)軟件進(jìn)行控制,分析。表面電阻(ohm/sq),電阻率(ohm.cm)測(cè)試?yán)硐氲墓ぞ摺?/p>
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽(yáng)能電池,LCD,OLED,觸摸屏。。。
技術(shù)參數(shù):
面電阻測(cè)量:
- 測(cè)量模式 : 接觸式 4-探針
電阻率測(cè)量:
- 測(cè)量模式 : 接觸式 4-探針 (可輸入厚度)
軟件系統(tǒng):
- 測(cè)量條件靈活 : Wafer type, 點(diǎn)間隔測(cè)量, etc.
- 儲(chǔ)存& 下載 : 數(shù)據(jù), wafer 型, 測(cè)試點(diǎn), etc.
- 數(shù)據(jù)分析 : 2D, 3D mapping, data map, etc.
- On/Off : 電腦操控, 真空
- 數(shù)據(jù) & mapping 可打印
測(cè)量模式 (S/W)
-自動(dòng)檢測(cè): Point interval designation by user
-快速檢測(cè) : ASTM & SEMI Mode
-點(diǎn)測(cè)量: Appointment on wafer by mouse
-手動(dòng)檢測(cè) : Appointment on wafer by arrow key
主要特點(diǎn):
-X,Y,Z-軸全自動(dòng)控制系統(tǒng)
-自動(dòng)& 手動(dòng)范圍可選
-樣品臺(tái)尺寸可根據(jù)客戶訂制
-通過(guò)PC進(jìn)行控制
-數(shù)據(jù)分析 (2D, 3Dmap etc)
-ASTM & SEMI 快速測(cè)量模式
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