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-半自動(dòng)探針臺(tái)＆全測(cè)量.
-12英寸低噪音卡盤，陶瓷Pa.
-X，Y轉(zhuǎn)臺(tái)行程300 x 300mm， 分辨率5um.
-Z轉(zhuǎn)臺(tái)：上/下移動(dòng)距離 15mm.
-CCD攝像機(jī)：全高清210M像素.
-定位器：微型定位器主體單元PB100，真空底座分辨率1um，行程13mm.
-選項(xiàng)：暗箱；振動(dòng)臺(tái)；熱夾頭；Seebeck效應(yīng)加熱探頭 等........
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