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規(guī)格＆應(yīng)用：
-8英寸卡盤，低漏泄電流-不超過50fA.
-X/Y軸行程 100 x 100mm，分辨率5um 旋轉(zhuǎn)型.
-Z軸 上下10mm，分辨率 1um.
-顯微鏡＆CCD攝像機(jī)
-針座＆探針支架
-選項：暗箱，防震臺，熱夾頭等.......
暫無數(shù)據(jù)！
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