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儀器簡介：

勻膠機（spin coater）有許多名稱：甩膠機、涂膠機、涂層機、旋轉(zhuǎn)涂膠機、主要應(yīng)用于溶膠凝膠（Sol-Gel）實驗中的薄膜制作。其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片， 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上， 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同， 也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

勻膠機適用于半導(dǎo)體、硅片、晶片、基片、導(dǎo)電玻璃，鈣鈦礦（OPV）太陽能電池及薄膜材料制備， 可在企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

-同時可提供顯影設(shè)備（spin developer)，及生產(chǎn)用勻膠機和顯影設(shè)備。

- 樣品尺寸： ~ 4"（6"，8"12" ，16"，200*200mm，370*470mm....更多尺寸可定制）

- 卡盤：特氟龍材質(zhì)

-旋轉(zhuǎn)速度 : 6000rpm ( 10，000rpm或更高可選）

-速度精度 : <+/-1 rpm

-加速／減速 : 可編程設(shè)定

-可選配自動滴膠功能

-可選配加熱功能

主要特點：

－可實現(xiàn)１rpm的速度

－速度可實現(xiàn)多樣調(diào)整

－加速，減速可自由調(diào)整

－step100步，100個方案控制

－低噪音，低震動化設(shè)計

－利用微處理器控制，適用方便

－可設(shè)定１rpm單位旋轉(zhuǎn)速度，實際旋轉(zhuǎn)速度標示

－為確保使用者安全，安裝有door-open & vacuum leak安全裝置。

－高性價比，多功能，低價格

－導(dǎo)入無需修理，以更換部件為理念的Ａ／Ｓ系統(tǒng)。