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噴霧涂敷機(jī)/鍍膜機(jī)/涂膜機(jī)/涂層機(jī)

系統(tǒng)為薄膜研究實(shí)驗(yàn)室而設(shè)計(jì)，尤其是用于太陽(yáng)能電池開發(fā)，適用于半導(dǎo)體分立器件與集成電路制造過(guò)程中，在基片表面通過(guò)噴霧式涂覆形成均勻膠膜的設(shè)備。

難以手動(dòng)控制的參數(shù)（如溶液的分配速度和噴頭移動(dòng)速度）由基于PC的自動(dòng)化控制。根據(jù)需要，使用由步進(jìn)電機(jī)和微處理器控制的容積泵來(lái)分配溶液。噴霧頭的移動(dòng)也由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的線性工作臺(tái)在X和Y方向上控制.

特點(diǎn)：

-微粒噴霧，涂敷效果好

-從微量到精密噴霧

-使用大口徑噴嘴，防止液體堵塞.

-低粘度液體，高粘度液體，固體物混合漿料等，均能顆?；?

-噴嘴本身具有自吸力，對(duì)于低粘度的噴涂不需要真空泵，可直接涂敷.

-可混合異型液體噴霧

應(yīng)用：

- 光阻涂敷

- 太陽(yáng)能電池涂敷

- 燃料電池涂敷

- 診斷設(shè)備涂層

- 碳納米管涂敷

- 石墨烯涂層

- 電感涂層

- 微蝕刻玻璃

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