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噴霧涂敷機(jī)/鍍膜機(jī)/涂膜機(jī)/涂層機(jī)
系統(tǒng)為薄膜研究實(shí)驗(yàn)室而設(shè)計(jì),尤其是用于太陽能電池開發(fā),適用于半導(dǎo)體分立器件與集成電路制造過程中,在基片表面通過噴霧式涂覆形成均勻膠膜的設(shè)備。
難以手動(dòng)控制的參數(shù)(如溶液的分配速度和噴頭移動(dòng)速度)由基于PC的自動(dòng)化控制。根據(jù)需要,使用由步進(jìn)電機(jī)和微處理器控制的容積泵來分配溶液。噴霧頭的移動(dòng)也由步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)的線性工作臺(tái)在X和Y方向上控制.
特點(diǎn):
-微粒噴霧,涂敷效果好
-從微量到精密噴霧
-使用大口徑噴嘴,防止液體堵塞.
-低粘度液體,高粘度液體,固體物混合漿料等,均能顆?;?
-噴嘴本身具有自吸力,對(duì)于低粘度的噴涂不需要真空泵,可直接涂敷.
-可混合異型液體噴霧
應(yīng)用:
- 光阻涂敷
- 太陽能電池涂敷
- 燃料電池涂敷
- 診斷設(shè)備涂層
- 碳納米管涂敷
- 石墨烯涂層
- 電感涂層
- 微蝕刻玻璃
- ........
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