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自從1993年起SURFACE公司就從事脈沖激光沉積鍍膜系統(tǒng)（以下簡(jiǎn)稱PLD）的研發(fā)和制造工作，在這期間SURFACE公司不但向市場(chǎng)提供了標(biāo)準(zhǔn)的PLD系統(tǒng)，而且也提供專門為客戶訂制的PLD系統(tǒng)。經(jīng)過了這么多年的發(fā)展，SURFACE公司開發(fā)出許多能夠滿足客戶需求的產(chǎn)品和技術(shù)。以下就是由SURFACE公司**提供的這些產(chǎn)品和技術(shù)的簡(jiǎn)要介紹：

一． 基本資料

1.、SURFACE基底運(yùn)載系統(tǒng)

對(duì)機(jī)械手來說，熱均勻和熱隔離的有效性是十分重要的。這其中，精確的熱電偶是關(guān)鍵的質(zhì)量因素。

（圖上的文字）

SURFACE常規(guī)電阻1英寸基底運(yùn)載器

嵌入式Omicron原子力基底夾

熱電偶直接嵌入基底運(yùn)載系統(tǒng)，30mm的基底中間區(qū)域

基底和銀醬一起安裝在激光切邊運(yùn)載器上。運(yùn)載系統(tǒng)可轉(zhuǎn)換并直接嵌入熱電偶（請(qǐng)見另一頁(yè)）這保證絕大多數(shù)的溫度測(cè)量。

2、靶切換系統(tǒng)

超高真空技術(shù)需要反應(yīng)釜通過一個(gè)負(fù)載鎖的腔體進(jìn)行相互作用。從一開始，SURFACE就意識(shí)到這一點(diǎn)，并設(shè)計(jì)了一個(gè)靶轉(zhuǎn)盤來實(shí)現(xiàn)這一需求。

多層蓋板避免了強(qiáng)熱的基底轉(zhuǎn)移到靶材。所有靶材是受保護(hù)，以防止交叉污染。蓋板能夠非常容易地被更換，無需工具。靶材將通過磁場(chǎng)操縱或位于中央轉(zhuǎn)移腔的內(nèi)部轉(zhuǎn)移操縱手被轉(zhuǎn)移。該耦合和靶材的精確檢索是自動(dòng)完成的。靶轉(zhuǎn)盤和切換動(dòng)力保證了均質(zhì)燒蝕過程。

3、模塊化的系統(tǒng)概念

SURFACE公司多年來一直從事于研發(fā)超高真空材料科學(xué)系統(tǒng)。在大多數(shù)情況下，一個(gè)系統(tǒng)的工作負(fù)載起始于一個(gè)單一的過程控制，往往過了一段時(shí)間以后，客戶的需求會(huì)增多。為了通過附加的過程控制提升整套設(shè)備的功能，SURFACE公司認(rèn)識(shí)到需要用完整的模塊化概念來解決這個(gè)問題。

從向市場(chǎng)提供單一的腔體加上負(fù)載鎖，一直到提供更多的擴(kuò)展，而不需要冒任何將來轉(zhuǎn)換而產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)。

可以方便客戶的細(xì)節(jié)：

1、 轉(zhuǎn)換過程有照相機(jī)支持

從開始我們的束工具生產(chǎn)，我們就決心讓使用設(shè)備變得更加簡(jiǎn)便。*早我們使用了一個(gè)獨(dú)立的監(jiān)視器，連接一臺(tái)獨(dú)立的BW照相機(jī)。為了實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，增加了第二個(gè)TTL監(jiān)視器來觀測(cè)實(shí)時(shí)的彩色照片和相關(guān)的其他過程數(shù)據(jù)。尤其是當(dāng)我們的激光加熱系統(tǒng)應(yīng)用以后，另外一臺(tái)顯示器對(duì)顯示實(shí)際得圖表和數(shù)據(jù)非常有用。毫無疑問，所有的照片都能夠被實(shí)時(shí)地存儲(chǔ)在過程控制系統(tǒng)的硬盤驅(qū)動(dòng)器上。

2、 整套系統(tǒng)的緊湊安裝

實(shí)驗(yàn)室里的空間是昂貴的，所以任何空間都必須被非常有效地使用。SURFACE公司從一開始就設(shè)計(jì)將激光放置在控制箱的頂部，并可將其他的激光氣艙加入這一過程。

將氣艙整合到這個(gè)配置里面將使安裝變得非常容易和迅速。

這種節(jié)約成本的設(shè)計(jì)克服了PLD安裝之前昂貴的本地安裝——所有項(xiàng)目都被包括在SURFACE的交貨中。

氣艙通過一個(gè)大的方便的管子與客戶端的排氣設(shè)備相連接。

3、 SURFACE公司的交貨與交鑰匙工程

這方面包括從SURFACE公司將系統(tǒng)直接運(yùn)來（這些設(shè)備的生產(chǎn)基地都是在西歐及周邊地區(qū)）。運(yùn)輸?shù)娇蛻舻男遁d地點(diǎn)是關(guān)鍵。但SURFACE公司幫助，甚至客戶實(shí)驗(yàn)室的建設(shè)。客戶只需要提供當(dāng)?shù)氐慕煌ê偷踯噥韺⒇浳镞\(yùn)送到設(shè)備使用地。所有的運(yùn)輸路線在采購(gòu)決定之前都會(huì)被考察到。

4、 SURFACE公司支持S3處理軟件。

S3處理軟件提供一個(gè)全新的立體支持：一鍵式操作，客戶可以直接與SURFACE的技術(shù)支持團(tuán)隊(duì)進(jìn)行溝通。軟件使用中的問題和操作中的問題經(jīng)常會(huì)發(fā)生，通過完全的遠(yuǎn)程操控，技術(shù)支持人員可以為客戶提供設(shè)備使用各個(gè)階段的幫助。這將防止一些不必要的困難的發(fā)生，并為客戶提供快捷的響應(yīng)。這個(gè)支持工具在SURFACE系統(tǒng)中是免費(fèi)的，客戶只需提供正確的網(wǎng)絡(luò)鏈接。