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主要技術參數(shù):研磨拋光**晶圓尺寸6英寸;盤速5-100rpm;
滴料1-100m1/min均勻可調;雙蠕動泵供料;
擺臂擺動幅度0-15度可調;擺臂擺動速度均勻可調;全液晶屏控制。
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滴料1-100m1/min均勻可調;雙蠕動泵供料;
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