看了CMP 拋光機的用戶又看了
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主要技術參數(shù): . 雙工位,可同時拋光兩個8英寸晶圓,定制不同的拋 光頭,可兼容6寸、4寸、2寸或更小尺寸晶圓的拋光; .具有定時功能,設定拋光工作時間,到點自動停機; .盤速5-200rpm,緩啟緩停,通過觸控顯示界面設定參數(shù) 控制轉速,拋光盤具有水冷功能,能精確控制盤溫; .配置兩個蠕動泵,可精確控制送料均勻度; .拋光頭轉速0-200rpm可調;擺動幅度±20mm可調,拋 光頭通過壓縮空氣加壓,0-5bar可調,根據(jù)需要可定制2 區(qū)或3區(qū)、4區(qū)拋光頭,不同區(qū)位可調節(jié)不同壓力; .拋光工藝可以儲存,工藝可保持一致性和重復性
暫無數(shù)據(jù)!