規(guī)格外形（長*寬*高）：
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主要技術(shù)指標(biāo).夾具壓力:3kg-10kg可調(diào);測高儀精度:1u;.磨拋精度:6英寸晶圓磨拋后TTV士5u;4英寸晶圓磨拋后TTV士3μ。
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