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碳化硅（SiC）外延爐品牌
上海翱晶產(chǎn)地
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產(chǎn)品型號：EPIREVO S6
EPIREVO S6是日本株式會社東芝的子公司紐富萊（NuFlare）的主要產(chǎn)品之一。采用全自動化的單片雙腔設(shè)計，利用垂直氣流和高速旋轉(zhuǎn)的生產(chǎn)工藝，將月產(chǎn)能提高到了1800片以上的可能（4-6英寸，10微米標(biāo)準）。垂直腔體的設(shè)計以及高速旋轉(zhuǎn)生長的原理可使產(chǎn)品全體缺陷控制在0.01cm2（EDD）以內(nèi)，清掃維護（PM）也達到了可連續(xù)生長2000微米以上，為目前碳化硅外延量產(chǎn)化的**設(shè)備。尚且，本外延爐也已經(jīng)具備了簡易更換配件即可對應(yīng)8英寸外延的可能。產(chǎn)能更大、質(zhì)量更好、性價比更高是產(chǎn)品的設(shè)計宗旨。
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