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6英寸半導體級單晶爐
6英寸半導體級單晶爐

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型號

6英寸半導體級單晶爐

品牌

上海漢虹

產(chǎn)地

上海

樣本

暫無
上海漢虹精密機械有限公司

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第1年

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生產(chǎn)商

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6英寸半導體級單晶爐

拉晶過程全程自動化

在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將硅材料熔化,

用直拉法生長無位錯單晶的設備。

性能優(yōu)勢

設備主體結(jié)構(gòu)優(yōu)化,提高了整機穩(wěn)定性。

具有拉制12英寸COP FREE半導體單晶硅棒的功能。

采用新型隔離閥。

液面高度監(jiān)控系統(tǒng)。

高精度傳動機構(gòu)。

雙層水冷套、可升降雙層水冷屏。


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