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FT-SRS1200品牌
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上海樣本
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采用電阻加熱和改進的自蔓延高溫合成法，
合成可用于單晶生長的高純SiC粉料的設(shè)備。
可提供半定制化服務(wù)
高真空
腔體內(nèi)壁經(jīng)鏡面拋光，減少氣體附著；
各表面嚴(yán)密結(jié)合，避免產(chǎn)生泄露；
大抽速泵體，實現(xiàn)快速抽空功能；
高密封性閥體，實現(xiàn)長時間的真空保壓。
高精密
高精度數(shù)控加工部件；
精密傳動部件；
高品質(zhì)電控系統(tǒng)；
實現(xiàn)運動系統(tǒng)的高精度控制，重復(fù)定位無偏差。
全自動
自主開發(fā)系統(tǒng)，實現(xiàn)全自動過程；
兼容各種工藝操作流程；
操作權(quán)限分級，減少誤動作；
自主研發(fā)異地網(wǎng)絡(luò)遠程監(jiān)控SiC操作系統(tǒng)——安全，可靠，便捷，實現(xiàn)無人值守遠程控制。
碳化硅原料合成爐(100~150kg,電阻式)
晶體尺寸 100 ~ 150kg
工藝 SHS
加熱方式 電阻式
基本參數(shù) 主機尺寸 W3150 x D1850 x H4780mm
整機重量 約5T
支持系統(tǒng) 電 源 容 量 280kVA
電 壓 380VAC±10%, 3P, 50/60Hz
冷 卻 水 壓 力 0.3 ~ 0.5MPa
流 量 ＞250L/min
工藝氣體 壓 力 ＞0.2MPa
壓縮空氣 壓 力 0.5 ~ 1.0MPa
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