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    碳化硅原料合成爐(100~150kg,電阻式)
    碳化硅原料合成爐(100~150kg,電阻式)

    參考價(jià)格

    面議

    型號(hào)

    FT-SRS1200

    品牌

    產(chǎn)地

    上海

    樣本

    暫無
    上海漢虹精密機(jī)械有限公司

    高級(jí)會(huì)員

    |

    第1年

    |

    生產(chǎn)商

    工商已核實(shí)

    留言詢價(jià)
    核心參數(shù)
    • 非金屬電熱元件:

      其他
    • 金屬電熱元件:

      其他
    • 燒結(jié)氣氛:

      真空
    • 溫控精度:

      -
    • 最高溫度:

      -
    • 額定溫度:

      2000
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    采用電阻加熱和改進(jìn)的自蔓延高溫合成法,

    合成可用于單晶生長(zhǎng)的高純SiC粉料的設(shè)備。

    可提供半定制化服務(wù)

    高真空

    腔體內(nèi)壁經(jīng)鏡面拋光,減少氣體附著;

    各表面嚴(yán)密結(jié)合,避免產(chǎn)生泄露;

    大抽速泵體,實(shí)現(xiàn)快速抽空功能;

    高密封性閥體,實(shí)現(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間的真空保壓。

    高精密

    高精度數(shù)控加工部件;

    精密傳動(dòng)部件;

    高品質(zhì)電控系統(tǒng);

    實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)的高精度控制,重復(fù)定位無偏差。

    全自動(dòng)

    自主開發(fā)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)過程;

    兼容各種工藝操作流程;

    操作權(quán)限分級(jí),減少誤動(dòng)作;

    自主研發(fā)異地網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程監(jiān)控SiC操作系統(tǒng)——安全,可靠,便捷,實(shí)現(xiàn)無人值守遠(yuǎn)程控制。



    碳化硅原料合成爐(100~150kg,電阻式) 

    晶體尺寸 100 ~ 150kg 

    工藝 SHS 

    加熱方式 電阻式 

    基本參數(shù) 主機(jī)尺寸 W3150 x D1850 x H4780mm 

    整機(jī)重量 約5T 

    支持系統(tǒng) 電     源 容    量 280kVA 

    電    壓 380VAC±10%, 3P,  50/60Hz 

    冷 卻 水 壓    力 0.3 ~ 0.5MPa 

    流    量 >250L/min 

    工藝氣體 壓    力 >0.2MPa 

    壓縮空氣 壓    力 0.5 ~ 1.0MPa 


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