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感應式PVT AlN生長設(shè)備是自主研發(fā)的感應式加熱爐，具有高穩(wěn)定性、高真空度和精確控制系統(tǒng)的AlN晶體生長系統(tǒng)，適用于商業(yè)化批量生長大尺寸AlN晶體，可實現(xiàn)AlN晶體的同質(zhì)和異質(zhì)外延生長。
技術(shù)參數(shù) | |
生長工藝 | PVT |
產(chǎn)品類型 | 非標定制 |
加熱方式 | 感應加熱（中頻感應加熱） |
**溫度 | 2400℃ |
系統(tǒng)停泵關(guān)機12小時后真空度 | ≤5Pa |
控制方式 | PLC集成控制 |
系統(tǒng)極限真空度 | ≤8×10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后) |
系統(tǒng)真空檢漏漏率 | ≤5.0×10-7 Pa.l/S |
冷卻方式 | 循環(huán)水路系統(tǒng) |
控壓范圍 | 20-80kpa |
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