非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
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技術參數(shù) | |
生長工藝 | PVT |
生長尺寸 | 6-8英寸 |
產(chǎn)品類型 | 非標定制 |
加熱方式 | 感應加熱（中頻感應加熱） |
**溫度 | 2400℃ |
控制方式 | PLC集成控制 |
系統(tǒng)極限真空度 | ≤5.5×10-5 Pa (經(jīng)烘烤除氣后) |
系統(tǒng)真空檢漏漏率 | ≤5.0×10-7 Pa.l/S |
冷卻方式 | 循環(huán)水路系統(tǒng) |
系統(tǒng)停泵關機12小時后真空度 | ≤3Pa |
雙層立式石英管水冷結構提供穩(wěn)定的長晶環(huán)境，利于生長高品質晶體，上下溫度實時精確監(jiān)控便于工藝調試，采用上下雙測溫精確監(jiān)控提供更優(yōu)的工藝調整，碳化硅感應式長晶爐適用于生長高純度碳化硅單晶、高純度碳化硅原料合成等
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