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LED激光剝離設(shè)備
LED激光剝離設(shè)備

參考價格

面議

型號

LED激光剝離設(shè)備

品牌

大族半導(dǎo)體

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
廣東大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司

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主要特點:

設(shè)備特點:

1、采用DPSS固體激光器

2、可加工產(chǎn)品:平片/PSS襯底的普通垂直結(jié)構(gòu)/mini/mirco LED產(chǎn)品

3、高效的上下料機構(gòu),4寸、6寸、8寸晶圓片可自動上下料

4、激光功率自動監(jiān)測調(diào)整,保障剝離穩(wěn)定

5、高速高精度振鏡系統(tǒng),高效高精度加工

6、剝離低損傷、高良品率,可24小時連續(xù)工作,性能穩(wěn)定,運行費用低廉

7、完整的log文檔,配合客戶的SECS,可上傳和保存加工參數(shù)和過程

8、設(shè)備配置有EFU,保證機臺內(nèi)部潔凈度


主要參數(shù):


主要參數(shù)加工尺寸

4寸、6寸及8寸晶圓

激光器及光路

UV激光,**加工功率≥1W

振鏡及控制系統(tǒng)

1、**速度:5000mm/s

2、精度:±15 um
加工方式

1、螺旋式由外往內(nèi)

2、直線填充方式

激光加工效率

4 inch平片:240s/片

剝離良率

外觀良率≥98%,4 inch平片

設(shè)備稼動率

≥ 95%


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10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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