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主要特點：

1、成像質(zhì)量:使用***的相機(jī)技術(shù)以實現(xiàn)超快速度且極小像差的掃描

2、量測集成包：大族激光是**家使用量測集成包的公司，能夠以一種簡單方便的方式創(chuàng)建一個快速的量測方案

3、光學(xué)系統(tǒng):使用自主先進(jìn)的大視野顯微鏡，配有高級照明系統(tǒng)和即時聚焦技術(shù)

4、缺陷查找：使用先進(jìn)的智能缺陷算法以克服制程工藝帶來的變異

5、直線高精電機(jī)，XYZ平臺, 100納米分辨率

6、機(jī)械結(jié)構(gòu)200納米精度

7、潔凈化設(shè)計 (運動平臺在晶圓下側(cè))

8、浮式基座平臺減小設(shè)備震動影響

主要參數(shù):

加工效果：