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臥式擴(kuò)散爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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一、設(shè)備概述：
臥式擴(kuò)散爐設(shè)備可應(yīng)用于集成電路、分立器件、 POWER、 MEMS等多種領(lǐng)域，適用于4-8英寸晶圓芯片的氧化、擴(kuò)散、GPP、退火、合金等工藝。
擴(kuò)散工藝是在高溫條件下，利用熱擴(kuò)散原理將雜質(zhì)元素按要求的深度摻入硅襯底中，使其具有特定的濃度分布，達(dá)到改變材料的電學(xué)特性，形成半導(dǎo)體器件結(jié)構(gòu)的目的?？捎糜谥谱鱌N結(jié)或構(gòu)成集成電路中的電阻、電容、二極管和晶體管等器件。
二、設(shè)備參數(shù)類型：
設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 根據(jù)客戶操作可定左/右手操作 |
2 | 管路數(shù) | 1-5管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-8寸 |
4 | 適用工藝 | 擴(kuò)散（磷擴(kuò)、硼擴(kuò)）、氧化（干氧、合成）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金、鋁預(yù)沉積 |
5 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有自動校準(zhǔn)溫區(qū)功能，具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級控溫 |
7 | 控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | 一體工控機(jī)+PLC |
8 | 報(bào)警保護(hù): | 具有超溫報(bào)警，斷偶報(bào)警，氣體互鎖，氣體緩啟動等功能 |
三、設(shè)備主要特點(diǎn)和優(yōu)勢
1★具有強(qiáng)大的操作功能，windows界面，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時(shí)間；
2★采用可靠性工控機(jī)+PLC模式，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過程自動化；
3★程序可以實(shí)現(xiàn)手/自動工作，在停電或中途停機(jī)后，再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫，節(jié)省工藝時(shí)間；
4★具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5★冷端采用PT100檢測環(huán)境溫度進(jìn)行溫度補(bǔ)償，避免環(huán)境溫度變化，對爐膛溫度產(chǎn)生影響，避免層間干擾；
6★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制，避免馬達(dá)丟步，運(yùn)行顫抖現(xiàn)象。推拉舟運(yùn)行完一個(gè)周期，自動校準(zhǔn)位置，有效防止定位偏差；
7★氣體流量控制精確，采用模擬信號閉環(huán)控制，強(qiáng)弱電分開，各種數(shù)據(jù)交互采用標(biāo)準(zhǔn)總線，提高抗干擾能力，保證數(shù)據(jù)安全；氣體打開具有緩啟動功能；
8★具有多種報(bào)警功能及安全保護(hù)功能；
9★恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度；
暫無數(shù)據(jù)！
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