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設(shè)備配置說明：

設(shè)備類型：Cassette-type & Cassetteless-type，支持SMIF或Foup 晶圓尺寸：150mm, 200mm, 300mm 設(shè)備配置：8~12 個槽體, 2~6 個Robot（可定制）                 可搭載先進(jìn)超聲波, 兆聲波                 槽體過溫保護(hù), 各Module配置漏液傳感器                 多級Wafer保護(hù)措施                 支持化學(xué)液C.C.S.S / L.C.S.S                自動換酸, 自動補液、配液( 可兼容多種濃度配比                先進(jìn)Marangoni干燥                 加熱控制, 濃度控制, 流量控制, 壓力控制                 化學(xué)液/水, 直排&回收 可靠性能：Uptime≥95%           Breakage≤1/10000                  MTBF≥720hours      MTTR≤3 hours       軟件控制：PC+PLC+GUI 控制, 支持Schedule、EAP、FDC功能