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晶圓盒顆粒檢測機(jī)品牌
三和泰產(chǎn)地
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設(shè)備配置說明：
設(shè)備電機(jī)等部位增加保護(hù)罩，門檢interlock等；
設(shè)備內(nèi)部操作區(qū)設(shè)置三防燈，方便觀察；
設(shè)備設(shè)置亞克力透明材料觀察窗口，及門開關(guān)處理。
MES 連接，自動上報
space chart 系統(tǒng)自動生成
量測精度達(dá)0.1um
所有外殼材質(zhì)選用SUS316，滿足無塵室用料；
所有進(jìn)水管材質(zhì)選用PFA，出水管材質(zhì)選用SUS316，銜接處做除塵處理；
設(shè)備內(nèi)電機(jī)和氣缸選用高防水防塵型號（IP65）；
擺動電機(jī)部位增加保護(hù)罩，防止水濺落上及particle 。
暫無數(shù)據(jù)！
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