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設(shè)備配置：
超聲波震動儀2臺
氣槍2只，水槍2只
觸摸屏1個(gè)（含PLC控制）
液位sensor 3個(gè)及漏液檢測sensor1對
設(shè)備功能：
可處理wafer破片之后的FOUP
可作為FOUP 或parts 輔助量測設(shè)備
可作為FAB內(nèi)各種parts 清洗機(jī)
定期的Auto cleaner monitor FOUP
產(chǎn)能可根據(jù)要求設(shè)計(jì)制作
暫無數(shù)據(jù)！
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