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8英寸碳化硅

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中國(guó)粉體網(wǎng)訊 成本高,一直是碳化硅器件被吐槽的詬病。因?yàn)樘蓟柙谏a(chǎn)環(huán)節(jié)中存在單晶生產(chǎn)周期長(zhǎng)、環(huán)境要求高、良率低等問(wèn)題,碳化硅襯底生產(chǎn)中的長(zhǎng)晶環(huán)節(jié)需要在高溫、真空環(huán)境中進(jìn)行,對(duì)溫場(chǎng)穩(wěn)定性要求高,并且其生長(zhǎng)速度比硅材料有數(shù)量級(jí)[更多]

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