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碳化硅襯底

推薦碳化硅外延有多重要？

中國粉體網(wǎng)訊 首先，要搞清楚一個(gè)問題。為什么SiC要先制作襯底，再在襯底上外延SiC制成外延片？而不是直接切下來？簡(jiǎn)單來講，碳化硅晶體在生長(zhǎng)過程中會(huì)不可避免地產(chǎn)生缺陷、引入雜質(zhì)，導(dǎo)致襯底材料的質(zhì)量和性能都不夠好，而外延層的生[更多]

資訊 碳化硅外延第三代半導(dǎo)體碳化硅襯底碳化硅晶圓外延片制備
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